Рис. 6. Схема ВЧ источника ионов: 1 — разрядная камера; 2 — обмотка колебательного контура ВЧ генератора; 3 — изоляционная вставка; 4 — основание источника; 5 — отверстие отбора ионов; 6 — вытягивающий электрод.